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日本日立200kV球差校正透射電鏡HF5000概述
日立發(fā)布的200kV球差校正透射電鏡HF5000，具有高穩(wěn)定冷場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)詣?dòng)球差校正器，可一鍵操作實(shí)現(xiàn)自動(dòng)球差校正，HAADF-STEM分辨率可以達(dá)到0.78埃;可配置EDS雙探頭，固體角大可達(dá)2.0sr;具備TEM、STEM，SEM和電子衍射等多種圖像觀測(cè)模式;鏡筒和樣品臺(tái)經(jīng)過(guò)了重新設(shè)計(jì)，顯著提升了儀器的性能和穩(wěn)定性……HF5000將是材料學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體制造、石油煤炭等研究領(lǐng)域的可靠助手。
日本日立200kV球差校正透射電鏡HF5000特點(diǎn)
★ 高度自動(dòng)化球差校正，盡量減少人員介入，適用于繁忙的分析測(cè)試中心或設(shè)備平臺(tái);
★ 三位一體呈現(xiàn)(TEM、STEM、SEM)，內(nèi)部結(jié)構(gòu)成像和表面結(jié)構(gòu)成像可同時(shí)進(jìn)行同時(shí)獲取;
★ EDS超大球面角，無(wú)窗口探頭。可實(shí)現(xiàn)快速，高靈敏度化學(xué)成分分析;
★ 前瞻性平臺(tái)總體設(shè)計(jì)，為性能擴(kuò)增預(yù)留選項(xiàng)，例如可擴(kuò)增為氣體環(huán)境電鏡。
